單軸壓電掃描臺/納米平移臺
AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動，以柔性鉸鏈為運動副，使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點。全行程采用電容位移傳感器閉環反饋設計，精度可達到亞納米量級。結合數字閉環控制器，納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量級。
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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設計是為了滿足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動，以柔性鉸鏈為運動副，使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。
全行程采用電容位移傳感器閉環反饋控制系統設計，電容位移傳感器是將位移變化轉換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用，而且擁有*的精度，可達到亞納米量級。結合數字閉環控制器，納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量級。低的移動質量和高的剛度結合可以提供非常高的帶寬。
對于大行程的納米定位臺，采用目前業內zui*的雙傳感技術與以往相比可以提供更快的響應速度，提高有效載荷出現變化時的穩定性和更高的帶寬。這項突破性的技術能夠應用于各種袖珍模擬和數字控制器，其操作簡便，為用戶提供*性能。
公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產品：
①超緊湊型閉環亞納米微動臺
AU-NPS-X-5A是一款已推出市面上體積zui小的閉環一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm（長´寬´高）。應用電容位移傳感器，位移分辨率達到亞納米級別?？蛰d下的自振頻率更是高達8000HZ。采用鋁合金材質，其擁有較輕的質量和高的剛度，使其有高的帶寬，在zui大負載的情況下響應時間可達到亞毫秒級別。
②超快一維亞納米定位平臺
AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺，用于高速的、超精密的應用。該設備在空載下的自振頻率高達9500HZ。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ。并且該產品具有良好的位置重復性。擁有良好的響應速度，響應時間達到毫秒量級。并且該款產品可按照不同需求進行工業定制。
③超大行程的一維納米微動臺
AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅動，以柔性鉸鏈為運動副，使其具有較緊湊的體積，使用電容傳感器，在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設計，可提供更快的階躍響應，提高有效載荷出現變化時的穩定性，并擁有更大的帶寬，使其擁有更快的響應時間。
④高負載大推力一維亞納米微動臺
AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺，zui高負載可高達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ?？蛰d下的自振頻率更是高達5000HZ。
除了以上幾款產品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優異的性能。外加負載可高達5kg。擁有較高的帶寬，在50g負載的情況下，響應時間可達毫秒量級。AU-NPS-X-15D和AU-NPS-X-15A屬于相同型號，但是具有更高的高度（15.5mm），因此擁有更高的剛度，因此具有較寬的帶寬、較低的穩定時間和較高的自振頻率。
u 主要特點
- 亞納米的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應
- 高的可靠性
- 結構緊湊
- 壓電陶瓷驅動
- 柔性鉸鏈設計
- 電容位移傳感器閉環反饋
u 主要應用
磁頭和磁盤驅動測試、計量學、干涉度量學、原子力顯微鏡等
u 產品主要參數
型號 參數 | AU-NPS-X-5A | AU-NPS-X-15A | AU-NPS-X-15D | AU-NPS-X-500A | AU-NPS-X-30B | AU-OEM-X-10A | |||
Material | Aluminium | Stainless steel 316 | Stainless steel 316 | Titanium & Aluminium Alloy | Titanium | Titanium | |||
Size
| 23 long x 16.5 wide x 7.6 high | 60 long x 40 wide x 13.5 high | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 60 x 60 x 20 | 60 long x 40 wide x 15.5 high | 62 long x 40 wide x 22 high | |||
Range (mm) | Minimum |
| ± 7.5 | ± 7.5 | 500 | ± 15 | ± 5 | ||
Typical | 6.5 | ± 8 | ± 8 |
|
| ± 6 | |||
Maximum |
|
|
|
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|
| |||
Resonant frequency: 0g load | Minimum |
| 3000 HZ | 3500 HZ | 260 HZ | 4500 HZ |
| ||
Typical | 8000 HZ |
|
| 5000 HZ | 9500 HZ | ||||
Maximum |
|
|
|
|
| ||||
Resolution | sub-nanometer | 1 nm | sub-nanometer | ||||||
Maximum load | 5 g | 5 kg | 5 kg | 1 kg | 10 kg | 0.2 kg | |||
Position noise(1σ ) /nmrms | Fast |
| 0.2 | 0.2 |
| 0.12 | 0.05 | ||
Medium | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.09 | 0.07 | ||||
Slow |
| 0.05 | 0.05 | 0.04 | 0.1 | ||||
Linearity error (peak)/% | Minimum |
|
|
|
|
|
| ||
Typical | 0.1 | 0.01 | 0.01 | 0.02 | 0.01 | 0.01 | |||
Maximum | 0.2 | 0.02 | 0.02 |
| 0.02 | 0.02 | |||
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